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等離子蝕刻設(shè)備機(jī)常用氣體有幾路？_珠海恒格微電子裝備有限公司
等離子蝕刻設(shè)備機(jī)常用氣體有幾路？
2020-05-09
master
2002
等離子蝕刻設(shè)備機(jī)常用氣體一般四路：氮?dú)?、氧氣、CF4、氬氣; 備用兩路:氫氣、氦氣
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