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等離子蝕刻設(shè)備腔體是如何升溫的？

2020-05-09 master 1942

等離子蝕刻設(shè)備腔體是通過電子和等離子對工件與腔體高速撞擊的電極發(fā)熱導(dǎo)致腔體升溫；

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